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大族激光:公司接近式光刻机已投入市场

[大足激光：公司近距离光刻机已投放市场，步进式光刻机已启动用户优化]大足激光最近在接受投资者调查时表示，目前公司光刻机项目主要应用于分立设备领域，分辨率为3-5μm；其中，接近式光刻机已投放市场，步进式光刻机已启动用户优化。公司将继续根据市场需求和业务发展制定研发计划，增加研发核心部件的定位。